1日訊，芯碁微裝公告，擬定增募資不超過8.25億元，用于直寫光刻設備產業應用深化拓展項目，IC載板、類載板直寫光刻設備產業化項目，關鍵子系統、核心零部件自主研發項目，補充流動資金項目。