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華海清科：12英寸超精密晶圓減薄機量產(chǎn)機臺出貨
來源：公告日期：2023-05-21 16:57
5月21日電，華海清科公告，近日，公司新一代12英寸超精密晶圓減薄機Versatile-GP300量產(chǎn)機臺出機發(fā)往集成電路龍頭企業(yè)。12英寸超精密晶圓減薄機是業(yè)內(nèi)首次實現(xiàn)12英寸晶圓超精密磨削和CMP全局平坦化的有機整合集成設(shè)備，Versatile-GP300量產(chǎn)機臺可穩(wěn)定實現(xiàn)12英寸晶圓片內(nèi)磨削總厚度變化＜1um和減薄工藝全過程的穩(wěn)定可控。
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