晶瑞股份公告，經公司多方協商、積極運作，順利購得ASMLXT1900Gi型光刻機一臺，該設備可用于研發最高分辨率達28nm的高端光刻膠。該設備于2021年1月19日運抵蘇州并成功搬入公司高端光刻膠研發實驗室。下一步，公司將積極組織相關資源，盡快完成設備的安裝調試工作。本次公司采購的ASML光刻機設備的順利交付，可以保障公司集成電路制造用高端光刻膠研發項目關鍵設備的技術先進性，對加快產品研發項目進度有積極影響。