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時間:2023-01-10 20:24 來源:公告
1月10日電,賽微電子公告,控股子公司賽萊克斯北京代工制造的某款MEMS(簡稱為微機電系統)生物芯片通過了客戶驗證,該客戶已同步簽署試產訂單,啟動首批MEMS生物芯片8英寸晶圓的小批量試生產。MEMS制造工藝可以在微小的生物芯片中加工微納米級別的泵、閥、管道、容器等,將生物傳感器的復雜功能集成內置在芯片中,同時可以實現生物芯片的高靈敏度、高準確性、微創應用及低成本、大批量生產。