3月14日電，南大光電在互動平臺表示，ArF光刻膠有少量供貨，尚未規(guī)模量產(chǎn)。光刻膠擴產(chǎn)計劃需根據(jù)產(chǎn)品訂單情況確定。ArF光刻膠是先進集成電路芯片制造的關(guān)鍵材料，在193nm光源下有較高的透明性和抗刻蝕性等，可以廣泛應(yīng)用于各種高端IC芯片的生產(chǎn)制造。