時(shí)間:2020-05-27 19:24 來(lái)源:公告
南大光電晚間公告,公司承接的國(guó)家“02專(zhuān)項(xiàng)”之“ArF光刻膠產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”的基礎(chǔ)建設(shè)按計(jì)劃進(jìn)行;2019年底完成一條生產(chǎn)線的安裝,正在調(diào)試階段。2020年4月,公司采購(gòu)的用于檢測(cè)ArF光刻膠產(chǎn)品性能的光刻機(jī)運(yùn)入寧波南大光電工廠,5月開(kāi)始進(jìn)行安裝調(diào)試,預(yù)計(jì)安裝調(diào)試需要4-5個(gè)月的時(shí)間。公司制備ArF光刻膠用的高純?cè)牧蟻?lái)源于自主研發(fā),研制出的ArF光刻膠樣品正在供客戶測(cè)試。目前“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”正處于光刻膠樣品驗(yàn)證階段,驗(yàn)證過(guò)程預(yù)計(jì)需要12-18個(gè)月,甚至更長(zhǎng)的時(shí)間。