上海新陽（300236）3月8日晚間披露ASML-1400光刻機進展公告，該光刻機設備于今日已進入合作方北方集成電路技術創新中心（北京）有限公司場地，后續將進行安裝調試等相關工作。公司采購的ASML干法光刻機設備順利交付，對加快193nmArF干法光刻膠產品開發進度有積極影響。